Исследование возможности получения пленок кобальта методом CVD

Хайруллин Р.Р. Рентгеноструктурные исследования пленок Co, полученных методом CVD / С.И. Доровских.Универсальность - возможность получения пленок практически любого состава.Для исследований были взяты 17 образцов пленок Co, полученных при различных условиях осаждения.Хайруллин Р.Р. Получение тонких пленок Ni и Co методом плазмохимического осаждения.Лаб.2Получение образцов пленок кобальта из г. Новосибирсказав.1 Получение металлических пленок и покрытий методами CVD и PVD.1 Рентгеноструктурные исследования пленок кобальта.1Рентгеноструктурные исследования пленок кобальта.Существует множество способов получения металлических тонких пленок.Возможность нанесения одно- и двухсторонних пленок на детали сложной формы и большой площади.