Характеристики микромеханических реле на основе тонких слоистых исполнительных элементов

Характеристики слоистых исполнительных элементов микрореле.1 Принцип действия и особенности конструкции исполнительных элементов микромеханических реле.Технология изготовления исполнительных элементов микрореле.Выявить основные физико-технологические ограничения при изготовлении микромеханических реле.Схема исполнительного элемента с симметричным подвесом СВЧ-микрореле Теравикта [I] .Рассмотрены основные типовые конструкции исполнительных элементов (см. рис. 1.1, 1.3 и 1.5).Характеристики балочных подвижных элементов на основе гальванически.Провести анализ принципа действия типовых конструкций микрореле и основных методов изготовления.Исполнительный элемент с крестообразным подвесом на упругих пружинах.Расчет смещения исполнительных элементов разной конструкции подробно рассмотрен в [4,6,7,8] .