Свойства оксидных покрытий, полученных с помощью дуального магнетрона

Цель работы - выявление зависимостей свойств оксидных покрытий от конструктивных особенностей МРС.Овладеть методикой нанесения оксидных покрытий и провести измерения их свойств.Объектом исследования являются пленки оксида титана, полученные с помощью различных конструкций МРС.Нанесение оксидных пленок с помощью различных конструкций при одинаковых режимах напыления.Всех этих недостатков лишена дуальная магнетронная система [7] .Это расположение известно как Дуальная Система Магнетрона (DMS) или Твин - магнетрон.Конструкция дуального магнетрона представлена на рисунке 1.2.Рисунок 1.2. - Конструкция дуальной магнетронной системы с дополнительным элементом.Как сказано выше, оптическая толщина полученного покрытия составила 631,5нм.Для покрытий диоксида титана очень важной характеристикой являются их оптические свойства.