Разработка СВЧ блока устройства для бесконтактного измерения электрофизических параметров полупроводников

Прибор неразрушающего контроля электрофизических параметров полупроводников ИВК SemiCon - 1 .Установить СВЧ блок в устройство.3 Влияние параметров СВЧ блока на метрологические характеристики.СВЧ резонаторный метод для бесконтактного локального измерения удельного сопротивления.Оформить техническую документацию на СВЧ блок.Снять основные характеристики выпущенной серии СВЧ блоков.Прибор позволяет проводить измерения: удельного сопротивления, времени жизни ННЗ и температуру.На рисунке 5 представлен СВЧ блок и датчик (резонатор) .Блока датчиков - это СВЧ резонатор и датчик температуры.2 Основные параметры ГУН.