Методи виготовлення планарних оптичних хвилеводів та дослідження їхніх характеристик

Рис.1.7. Виготовлення тонкоплівкових оптичних хвилеводів методом іонного обміну.Рис.1.5. Установка для виготовлення тонкоплівкових хвилеводів методом плазмової полімеризації.Типова схема установки для виготовлення хвилеводів методом іонного обміну зображена на рисунку 1.7.Це послужило поштовхом до розвитку теорії планарних оптичних хвилеводів та інтегральної оптики.1 Класифікація та основні типи планарних оптичних хвилеводів.Методи виготовлення тонкоплівкових хвилеводів.Матеріали для виготовлення оптичних хвилеводів.Рис.1.1. Класифікація планарних оптичних хвилеводів.Рис.1.3. Установка для виготовлення тонкоплівкових хвилеводів методом розпилення.Рис.1.6. Виготовлення тонкоплівкових хвилеводів методом дифузії.