Исследование нанослоев Al2O3, синтезированных на пористом SiO2

Спектры поглощения аморфного Al2O3 [13] и 13 нм пленки Al2O3, выращенной на пористом SiO2.На рисунке 13а представлены Si L2,3 - спектры отражения пористого SiO2, б-кварца и аморфного SiO2.Ширина пика b последовательно увеличивается в ряду б-кварц, аморфный, пористый SiO2.Одним из многообещающих low-k диэлектриков является пористый диоксид кремния [1] .Отмеченные закономерности позволяют с уверенностью сделать вывод о сплошности пленок Al2O3.В спектре массивного am-Al2O3 [13] . Данные спектры приведены вместе на рисунке 20.Кристаллическая структура полимофных модификаций SiO2.Кристаллическая структура полиморфных модификаций Al2O3.Диоксид кремния SiO2.В частности сегодня возникла следующая трудность.