Математическое моделирование процессов в плазменных установках

Экштайн ксенон изотропизация плазменный.Число ионов при расчёте выбирать не менее 9999.Диапазон энергий ионов ксенона 100 - 600 эВ.Число ионов, используемых в расчёте для каждого значения энергии -15000.Результаты расчёта приведены в таблице 1.Характерная глубина проникновения ионов ксенона в мишень 25 Ангстрем.Это означает, что модель линейных каскадов для данного случая распыления корректна.Атомный вес - 184 а.е.м.Плотность - 19.4 г./см3.Атомный вес - 131 а.е.м.