Дослідження впливу зміни оточуючого газового середовища на основі гетеропереходів

Механізм роботи газового сенсора.Результати більшості цих робіт узагальнені в [1] .Найважливіша проблема напівпровідникових сенсорів це низька селективність.Актуальною є проблема вивчення процесів на поверхні датчика з метою досконало зрозуміти їх природу.Це в свою чергу допоможе покращити їх технічні характеристики.При цьому реакція елемента сенсорної матриці на не свій газ повинна бути мінімальна.Такий матричний сенсор буде відчувати стільки газів, скільки він має елементів.Одержання високої селективності до заданого газу для кожного елемента теж є не простою задачею.Конструкція з великим числом сенсорів дозволяє бороти з дрейфом характеристик.Очевидна перевага описуваного підходу - його гнучкість.