Методы изготовления планарных интегрально-оптических волноводов в подложках

Рисунок 8 - Потери в волноводах, изготовленных методом облучения протонами.Получение планарных волноводов методами диффузии.Таблица 1 - Параметры диффузантов, используемых при изготовлении волноводов в стеклянных подложках.Диффузионными методами можно создавать волноводы с минимальными потерями (менее 1 дБ/см) .Унгер Х.- Г. Планарные и волоконные оптические волноводы / Х.- Г. Унгер - М.: Мир, 1980.Параметры диффузантов используемых при изготовлении волноводов.Для изготовления пассивных элементов ИОС в качестве подложек, как правило, используются стекла.Рисунок 9 - Схема волновода на основе электрооптического эффекта.1 - титандиффузионные канальные волноводы; 2 - управляющие электроды.Где Q - общее количество внедренных в подложку атомов в любой момент времени.