Тонкие пленки нитрида кремния: синтез и структура

В данной курсовой работе рассматриваются синтез и структура тонких пленок нитрида кремния.Синтез тонких пленок нитрида кремния.Структура тонких пленок нитрида кремния.В данной разделе дано описание основных процессов, используемых для синтеза слоев нитрида кремния.Влияние поверхности подложки на состав, структуру и морфологию осаждаемых слоев нитрида кремния.В современных технологиях пленки нитрида кремния применяются в качестве.Пленки нитрида кремния могут быть осаждены в следующих процессах ХОГФ.Общая схема синтеза нитрида кремния в таких системах включает следующие реакции.Нитрид кремния (Si3N4) является одним из основополагающих материалов в производстве ИМС.С этого момента слой нитрида кремния может расти только нормально к поверхности кремния.