Молекулярно-лучевая эпитаксия

Только метод молекулярно - лучевой эпитаксии (МЛЭ) удовлетворяет всем этим требованиям.Наиболее подходящим методом создания таких структур является молекулярно-лучевая эпитаксия [17] .В данной курсовой работе был рассмотрен метод молекулярно-лучевой эпитаксии.[1] Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры / под ред.Режим доступа: [16] Молекулярно-лучевая эпитаксия кремния.Основные положения процесса молекулярно-лучевой эпитаксии.В этой зоне происходит эпитаксиальный рост в процессе молекулярно-пучковой эпитаксии [9] .Молекулярный эпитаксия эффузионный фотоприемник.Физика и техника полупроводников.МЛЭ в своей основе является утонченной модификацией метода вакуумного напыления.