Молекулярно-променева епітаксія

Розділ 2. Молекулярно-променева епітаксія.Процеси епітаксійного росту аналогічні до отримання тонких плівок.Більшість процесів епітаксії здійснюються осадженням з парогазової фази.При різних решітках сполучених речовин в епітаксійних плівках виникають дислокації невідповідності.Тому підкладку перед епітаксією зазвичай піддають механічній та хімічній обробці.Під час росту епітаксійні шари можна легувати, тобто в них вводять донорні або акцепторні домішки.Епітаксія істотно розширює функціональні можливості елементів, пристроїв електронної техніки.Розділ 1. Загальна характеристика процесу епітаксії.1 Основи теорії епітаксійного росту.2 Способи проведення епітаксії.