Исследование поверхностей и тонкослойных покрытий методом отражательной эллипсометрии

Нуль-измерения по зонной методике на эллипсометре ЛЭФ-3М.Эллипсометрический контроль поверхность отражение.С этой точки зрения наиболее удобны и перспективны оптические методы.Эллипсометрические углы связаны между собой.Образец, подлежащий исследованию, кладется на предметный столик.В случае нескольких слоев на поверхности или анизотропных структур.Основное уравнение эллипсометрии.1 (рис. 2) , то коэффициенты отражения от поверхностей со слоями.При однократном эллипсометрическом измерении определяется пара углов.Практически измерения обычно выполняются по 2-зонной методике.