Развитие технологии МОП ИС

4 Особенности технологии КМОП БИС..3 Технология n - канальных МОП СБИС.Сравнение ключевых процессов и условий технологии производства биполярных и МОП - интегральных схем.Рассмотрим типичный технологический процесс изготовления МОП - транзистора с LOCOS-изоляцией.Особенностью регулировки порогового напряжения в КМОП - технологии является то, что величина.Легирование области канала.Формирование областей истока и стока.5 Особенности субмикронных МОП - транзисторов.Конструкции МОП - транзисторов в СБИС..Методы улучшения характеристик МОП - транзисторов.