Методы контроля в производстве интегральных микросхем

Малышева И.А. "Технология производства интегральных микросхем" , М., Радио и связь 1991.Методы технологического контроля, используемые в производстве ИМС, можно объединить в три группы.К основным видам контрольных испытаний интегральных микросхем относятся.При изготовлении интегральных схем очень важным является контроль технологических процессов.Тестовые интегральные микросхемы.Существует много методов контроля на герметичность.Хорошо организованный контроль обеспечивает высокий прицент выхода годной продукции.Рассмотрим более подробно два последних метода.Это наблюдение обеспечивает неразрушающий характер контроля.Для наблюдения необходимо, чтобы поверхность микросхемы была открытой.