Ионные насосы в технологии MEMS

Ионные насосы с горячим катодом.Ионно-сублимационные триодные насосы.Ионные насосы с холодным катодом.3 Ионно-сублимационный насос.Насосы объёмного типа осуществляют откачку за счёт периодического изменения объёма рабочей камеры.Сорбционные явления в вакууме широко используются для откачки газов из вакуумных систем.На принципе хемосорбции основана работа испарительных насосов.Производительностью насоса называется поток газа, проходящий через его входное сечение.Титан оседает на стенках корпуса насоса, имеющего водяную рубашку или охлаждаемого змеевиком.Ионизация газа в насосе происходит под действием электронов, эмиттируемых катодом.