Развитие кремниевой микроэлектронной технологии

Кремниевые микроэлектронные приборы изготавливаются по групповой технологии.В настоящее время и в обозримом будущем кремний останется основным материалом микроэлектроники.Кремний как основной материал микроэлектроники.Рисунок 3 - Кремниевый интегральный преобразователь давления.Эта разница становилась все заметнее по мере ужесточения требований к точности измерений.При возрастающей сложности электрических схем их относительная стоимость неуклонно падала.Необходимо специально подчеркнуть, что по этому показателю кремний намного превосходит сталь.Кремний обладает хорошими механическими свойствами.По твердости кремний близок к кварцу и почти вдвое превосходит железо.Монокристаллы кремния имеют предел текучести, который в три раза больше, чем у нержавеющей стали.