Ионно-сорбционная откачка

При ионно-сорбционной откачке используют два способа поглощения газа.Сорбционная активность этих пленок используется для хемосорбционной откачки.Этот способ удаления газа является разновидностью ионной откачки . На рис.Значение [pic] наблюдается для Ti , Zn при 300 … 500 К .Отсюда следует выражение для максимальной концентрации растворенного газа : [pic] .Расход активного материала в таких насосах осуществляется независимо от потока откачиваемого газа .Л.Н. Розанов . Вакуумная техника .Москва Высшая школа 1990 .Так как величина [pic] мала по сравнению с [pic] ( константа.Используемая литература : 5.