Проектирование и технология радиоэлектронных средств

По теме: Проектирование и технология радиоэлектронных средств.Кафедра Проектирование и технология радиоаппаратуры.Микротехнологии развиваются на основе научно-технологического задела микроэлектроники.Все это требует ряда совершенно новых подходов к проектированию, изготовлению и материалам МЭМС.Безусловно МЭМС технологии ждет большое будущее.Технологии производства МЭМС.Технология корпускулярно-лучевого формообразования.Научно-исследовательская лаборатория микротехнологий и МЭМС СПбГУ, www.mems.ru.Объединяет их два признака.Первый - это размер, второй - наличие движущихся частей и предназначение к механическим действиям.