Конструирование микросхемы, разработка топологии

Разработка маршрутного технологического процесса изготовления микросхемы.Напыления ведут на подогретые подложки, температуру которых регулируют изменением тока нагревателя.Расчёт геометрических размеров плёночных элементов.(1) , где i - номер элемента.Применяя формулу (1) найдём Pi для каждого резистора (см. таблицу 1) .Значения ширины, длины и площади каждого резистора см. таблицу 2.Результаты проверки см. в таблице 2.Где Кф - коэффициент формы плёночного элемента (значения Кф см. в таблице 1) .Где h - длина перекрытия для плёночных элементов, расположенных в разных слоях (h ( 0,2 мм) .( = 1 (10-4.