Закономерности образования и роста покрытий

Закономерности образования и роста покрытий, формируемых из газовой фазы.Закономерности образования и роста вакуумных покрытий.Рассмотрим основные стадии и механизмы роста покрытий при их осаждении из газового потока.Достаточно обосновано эмпирическое правило: чем выше давление в камере, тем ниже качество покрытия.При ее повышении формируется покрытие с более равновесной структурой.Процесс осаждения вакуумных покрытий является многофакторным и достаточно сложным.Коалесценция является одной из основных стадий роста пленки.Адсорбция и образование зародышей конденсированной фазы.Рогачев А.В. Зарождение и рост пленок металлов на поверхностях полимеров в вакууме.Давления остаточных газов в вакуумной камере.