Структура твердотельных интегральных микросхем

В полупроводниковой интегральной микросхеме нельзя заменить или даже исправить дефектный элемент.Гибридные и совмещенные интегральные микросхемы.Причины ограничивающие минимальные размеры интегральных микросхем.Достанко А. П. Технология интегральных схем.Парфенов О. Д. Технология микросхем.Основные виды структур ИМС.Фрагмент ИМС с диффузионно-планарной структурой.Реализация инвертора с помощью различных структур.Фрагмент структуры оптоэлектронной ИМС.Б - КМДП-структуры; в - с инжекционным питанием (ИЛ).