Технология получения монокристаллического Si

Технология получения монокристаллов полупроводникового кремния состоит из следующих этапов.Получение химически чистого Si в 10 раз дешевле, чем Ge.Этот технологический этап реализуется с помощью дуговой печи с погруженным в нее электродом.С) в технологии полупроводниковых и микроэлектронных приборов.Кремниевая технология является менее затратной.Процесс получения которого сводится к следующему.Получение зеркально гладкой поверхности.Получение технического кремния.Физико-химические основы технологии электронных средств.Получения трихлорсилана (ТХС).