Безкорпусная герметизация полупроводниковых приборов

Очистка полупроводниковых приборов перед герметизацией.Применяется для герметизации и защиты полупроводниковых приборов.Контроль герметичности полупроводниковых приборов.А.А. Маслов Технология и конструкции полупроводниковых приборов.А.И. Курносов Матералы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.В.А. Брук Производство полупроводниковых приборов.В.А. Антонов Технология производства электровакуумных и полупроводниковых приборов.Методы защиты р-п-переходов полупроводниковых кристаллов и пластин.Состояние и свойства поверхности полупроводников.Химическая и электролитическая отмывка полупроводников.