Безкорпусная герметизация полупроводниковых приборов

Очистка полупроводниковых приборов перед герметизацией.Применяется для герметизации и защиты полупроводниковых приборов.Контроль герметичности полупроводниковых приборов.А.А. Маслов "Технология и конструкции полупроводниковых приборов".А.И. Курносов "Матералы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем".В.А. Брук "Производство полупроводниковых приборов".В.А. Антонов "Технология производства электровакуумных и полупроводниковых приборов".Методы защиты р-п-переходов полупроводниковых кристаллов и пластин.Состояние и свойства поверхности полупроводников.Химическая и электролитическая отмывка полупроводников.