Ионный источник Кауфмана

Именно таким ионным источником является источник Кауфмана.Ионный источник с мультикатодной системой разработанный фирмой CSC представлен на рис.17.Ионный источник является одним из важнейших узлов установки ионной имплантации.Модификации источника Кауфмана и тенденции его развития 12.В настоящей работе рассмотрен плазменный ионный источник - источник.Многолучевой источник с осцилляцией электронов (источник Кауфмана).Модификации источника Кауфмана и тенденции его развития.Ионный источник с мультикатодной системой.Типичные параметры технологического источника Кауфмана ток ионов (Аr+).Ионные источники - устройства для получения направленных потоков ионов.