Методика расчета емкостного интерфейса микромеханического акселерометра

В данной структуре необходимо произвести расчет только одного СП-звена ССЕ.Рисунок к примеру расчета МПП для структуры Т - ССЕ - Е - Е - ЕСС - Т.Рисунок к примеру расчета МПП для структуры Т - СЕ - ЕСЕ - ЕСС - Т.Рисунок к примеру расчета МПП для структуры Т - СЕ - ЕССЕ - ЕС - Т.Методика проектирования многослойной печатной платы.По рисунку 5 (в приложении) по заданной в исходных данных погонной емкости при t=0.3 мм определяем .Условия реализации МПП выполнены.Толщина звена при однополярном наборе.Проверил Лазарев Е.М.Конструкция звена СЕ представляет собой микрополосковую линию.