Обоснование, выбор и изучение основных характеристик микрофлюидного чипа

Обоснование выбора параметров, определяющих аналитические характеристики микрофлюидного чипа.Кроме того, ряд важных характеристик определяется физико-химическими свойствами поверхности.Иногда некоторые из вышеприведенных характеристик могут быть связаны друг с другом.Характеристики некоторых методов, используемых при измерениях МФУ [2, 4, 6] .2 Измерение профиля каналов микрофлюидных чипов, полученных разными методами.Микрофлюидный чип установка смачивание.За счет этого становится возможным создание управляемых функциональных микросистем.Все это еще больше усложняет метрологическое обеспечение измерений МФУ [4] .üотношение ширины структуры к его глубине - аспектное соотношение.Использовалось сочетание АСМ и сканирующего интерферометра белого света.