Разработка системы бесконтактного термометрирования поршня ДВС

За счет этого становится возможным создание управляемых функциональных микросистем.Такие методы проведения бесконтактных измерений позволяют получить информацию о мягких поверхностях.Кроме того, ряд важных характеристик определяется физико-химическими свойствами поверхности.Все это еще больше усложняет метрологическое обеспечение измерений МФУ [4] .Иногда некоторые из вышеприведенных характеристик могут быть связаны друг с другом.üотношение ширины структуры к его глубине - аспектное соотношение.Использовалось сочетание АСМ и сканирующего интерферометра белого света.üметодами сканирующей электронной микроскопии.С помощью оптических приборов возможно обнаружение угла наклона поверхности равного 15о.Достичь субнанометрового разрешения позволяет использование интерферометрических методов.