Усовершенствование блока управления и конструкции реактора установки вакуумного напыления

Вдосконалення блока керування та конструкції реактора установки вакуумного напилення.Конструкция и принцип работы лабораторной установки вакуумного напыления.Конструкция и принцип работы базовой лабораторной установки вакуумного напыления.Рисунок 4. Блок схема установки вакуумного напыления.Содержит экономическое обоснование разработки установки вакуумного напыления.Установка состоит из рабочей камеры, вакуумной системы и пульта управления.Без изменений остался только функциональный блок, предназначенный для управления вакуумной системой.Модернизация электрической схемы установки вакуумного напыления.Технологии вакуумного напыления и оборудование для нанесения тонких слоев и плёнок.Блок-схема установки представлена на рис.