Магнетронное напыление

Магнетронное напыление Ti, происходящее в среде аргона.1 Освоить процесс магнетронного напыления тонких пленок Тi.В данной работе использовали модернизированную установку вакуумного напыления УВН-71-П3.Основными элементами установки вакуумного напыления, упрощенная схема которой представлена на рис.Затем заслонка открывается, и напыление ведется непосредственно на пластины.В качестве примеров можно привести снимки сечения границы раздела термически напыленного слоя Тi.Имеется большой парк магнетронного оборудования, который постоянно обновляется и совершенствуется.Анализ показывает, что магнетронное распыление является потенциально эффективным и в этой области.Данилин Б.С., Сырчин В.К., Магнетронные распылительные системы, М.: Радио и связь, 1982.Рис. 1.8 Характерные размеры напыления.