Резистивные пленки молибдена

Тема: Резистивные пленки молибдена.Распыленные ионами атомы материала мишени, осаждаясь на подложке, формируют пленку материала.Зарастание этих каналов приводит к образованию сплошной пленки.Внешний вид металлического молибдена зависит от способа его получения.Молибденовый порошок имеет темно-серый цвет.По дисциплине Тонкие пленки в микроэлектронике.Физическая сущность катодного распыления состоит в следующем.Ионы газа ускоряются в прикатодной области и бомбардируют катод.Одновременно в результате бомбардировки происходит эмиссия электронов из катода.Различают физическое и реактивное катодное распыление.