Установки катодного распыления, триодная схема

Конструктивные особенности установки катодного распыления.1 Схема катодного распыления по двухэлектродной (а) и трехэлектродной (б) схемам.Для описания процессов катодного распыления мишени используют модели, основанные на двух механизмах.В настоящее время существует много различных теорий процесса катодного распыления.Метод катодного распыления находит широкое применение в технике.Плешивцев Н.Б. Катодное распыление.Сущность метода катодного распыления.Режимы катодного распыления.Получение пленок методом катодного распыления, последовательность процесса.Применение тонких пленок, полученных методом катодного распыления.