Особенности получения тонкопленочного металлического конденсата из паровой фазы

Исключить химическое взаимодействие атомов паровой фазы с молекулами остаточных газов.Образование газовой фазы (генерация паров, летучих продуктов).Круг применения тонкопленочной технологии необычайно широк.При этом брак особенно экономически ощутим и, естественно, должен быть сведен до минимума.Рабочее время определяется особенностями технологического процесса и не может быть уменьшено.Данное условие особенно важно для материала подложки, имеющей низкую термостойкость.Взаимодействие частиц газовой фазы с поверхностью и образование тонких пленок.Технологический тонкопленочный вакуумный осажденный.Перенос атомов, частиц вещества от источника газовой фазы до покрываемой поверхности.Нанесение тонких пленок.