Химическое осаждение из газовой фазы

Химический осаждение газовый реактор.Доставка исходных реагентов в реакторе к граничному слою газовой фазы у поверхности подложки.Такие реакторы используются для плазмохимического осаждения двуокиси или нитрида кремния.Представлен плазмохимический реактор с радиальным распределением газового потока.Химическое парофазное осаждение, М., Наука, 2000.Газовая фаза может иметь тот же состав, что и осадок.Превращение исходных реагентов в промежуточные продукты (intermediates) в зоне осаждения.На рисунках показаны четыре основных типа реакторов, используемых для процессов осаждения.Газовая смесь поступает с одного конца трубы и откачивается с другого.Подложки устанавливаются вертикально, перпендикулярно газовому потоку, в кварцевой лодочке.