Оборудование для ориентации полупроводниковых пластин

Используемые материалы при работе на оборудовании для ориентации полупроводниковых пластин.Область использования и общая характеристика оборудования для ориентации полупроводниковых пластин.Методы ориентации полупроводниковых пластин.2, из слитка с такой ориентацией можно вырезать пластину, имеющую любую плоскость ориентации.Николаев И.М. Оборудование и технология производства полупроводниковых приборов, 1977 г.Моряков О.С. Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства, 1976 г.До процесса ориентации выявляют микроструктуру слитка.Для ориентации рентгеновским способом используют установки УРС-50И, УРС-60, УРС-70К1.7 представлена схема рентгеновского метода ориентации.Бочкин О.И. Механическая обработка полупроводниковых материалов, 1974 г.