Математическое моделирование технологического процесса изготовления ТТЛ-инвертора

В результате работы мы получим математическую модель технологического процесса ТТЛШ -инвертора.Математическое моделирование технологических процессов полупроводниковых приборов и ИМС.1Расчет режимов технологического процесса и распределение примесей после диффузии 6.Процессы сегрегации примеси при окислении можно не учитывать.К основным параметрам диффузионного процесса относят время диффузии и температуру диффузии.Т - температура процесса диффузии.Схема инвертора представлена на рисунке 3.В ходе данной работы было произведено сквозное проектирование ТТЛШ - инвертора.3 Расчет основных параметров инвертора 15.Таблица 2 - Параметры диффузионных процессов.