Распределение примесей в кремнии
расчет Распределения Примесей В Кремнии При Кристаллизационой Очистке И Диффузионном Легированнии.Кроме того диффузия используется для перераспределения примеси в полупроводнике.Распределение примесей после диффузии.Распределение примеси при диффузии из постоянного источника в полубесконечное тело.Распределение примеси после зонной плавки для реальных процессов описывается выражением.Для введения в полупроводник примеси используется процесс диффузии.Dж - коэффициент диффузии примеси в жидкой фазе.Расчет распределения Si-Ga.Расчет распределения Si-P.Расчет распределения Si-Sb.