Изготовление кристаллов

Маршрут Изготовления Кристалла 564ие10.Формирование областей сток- исток р-канальных транзисторов и р+-охраны.Диффузант - POCl3.Микросхема содержит два отдельных четырехразрядных двоичных счетчика.На счетчике 564ИЕ10 можно собрать делитель частоты с коэффициентом деления от 2 до 15.Графическое изображение МС 564ЕИ10 Рис.Формирование партии пластин.Гидромеханическая отмывка пластин.Смесь Каро (H2SO4+H2O2) , перикисьно-амиачная смесь.Установки СДОМ, АДС.