Метод магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием

Метод магнетронного распыления с ионным ассистированием позволяет.Изучить теоретические основы магнетронного распыления и ионного ассистирования.Наносить покрытия с широким интервалом скоростей напыления: 0,1-100 мкм/ч.Покрытие тонкопленочный магнетронный ионный.Магнетронные распылительные системы (МРС) в какой-то степени лишены этих недостатков.Нанести покрытие на протяжённый образец и определить степень его однородности по длине.Как правило, на поверхности образцов существует оксидный слой, который ухудшает адгезию покрытия.Технологический цикл нанесения покрытий включает в себя этап чистки поверхности образцов.Трудности, связанные с равномерным нанесением покрытий на изделия сложной формы.Для обработки образцов с множеством теневых областей чаще используют другие методы.