Оптимизация процесса напыления материала в магнетронной системе распыления

Какой эффект лежит в основе магнетронного распыления материалов?Метод магнетронного распыления материалов является разновидностью ионно-плазменного распыления.Из каких основных элементов состоит магнетронная система распыления?Схема магнетронной системы распыления.От чего зависит скорость распыления материала при ионной бомбардировке?Магнетронный распыление ионный испаритель.Ширина кольца распыления - 0.5 см.От каких параметров зависит коэффициент распыления в теории Зигмунда?Характеристики материала, необходимые для расчета.Здесь - радиус распыления (по условию 5 см) , - ширина кольца распыления (по условию 0.5 см) .