Структурно-фазовые состояния поверхностных слоев никеля при ионной имплантации

Формирование интерметаллидных фаз в наноструктурном состоянии с использованием ионной имплантации.При ионной имплантации ускоренные атомы внедряются в поверхностный слой твердотельной мишени.Рассмотрел зависимость роста толщины ионно-легированных слоев никеля от условий имплантации.Структурно-фазовые превращения в поверхностных ионно-легированных слоях.ПЭМ-изображения поверхностных слоев никеля, имплантированного алюминием (режим Ni - A1-III).1 Имплантация ионов углерода в поверхностные слои никеля и последующие изохорные отжиги.Ознакомится с основными процессами происходящие при ионной имплантации.Существует также ряд методов, позволяющих компенсировать распыление мишени при ионной имплантации.Один из методов, названный методом высококонцентрационной ионной имплантации, предложен в работе.Основные условия ионной имплантации образца приведены в таблице 2.1.