Литография: истоки и современность

Нанолитография методом анодного оксидирования (НАО) применяется к многослойным структурам.Примером НАО явлется нанолитография слоя титана на подложке из оксида кремния.Существует два способа проведения нанолитографии - векторный и растровый.На рисунке представлен сканер, который может осуществлять нанолитографические операции.Теперь рассмотрим проведение силовой литографии.Под литографией понимают.Рассмотрим примеры образцов до и после проведения электрической литографии.В атмосферных условиях титан естественным образом окисляется, образуя сверхтонкий слой TiO2.На поверхности кантилевера и слоя оскида титана образуется слой абсорбированной воды.При приближении зонда образуется водяной мостик под действием капиллярных сил.