Оптическая контактная литография

Дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии.Оптическая литография объединяет в себе такие области науки, как оптика, механика и фотохимия.Порядок технологических операций рентгеновской литографии тот же, что и в оптической литографии.Процесс контактной фотолитографии состоит из ряда пунктов представленных на рисунке 5.4 представлена упрощённая схема установки рентгеновской литографии.4 Схема установки для рентгеновской литографии.Основным преимуществом рентгеновской литографии является высокая разрешающая способность.Используют два метода электронно-лучевой литографии: сканирующую и проекционную литографию.Производительность метода сравнима с фотолитографией.Ostec micro каталог продукции - установки для литографических процессов.