Конструирование и технология тонкоплёночных ГИС

Конструирование и технология микросхем Под редакцией Коледова Л. А. М.: Высш.Тема: Конструирование и технология тонкоплёночных ГИС.Технология получения ситалла состоит из нескольких операций.Определяем технологические ограничения для метода.Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств М.: Радио и связь, 2011., 528 c.1 Конструктивный расчет тонкопленочных резисторов.2 Расчет и проектирование тонкопленочных конденсаторов.Для маломощных ГИС применяют бесщелочные боросиликатные стекла и ситаллы.Сначала получают изделие из стекломассы теми же способами, из обычного стекла.Изменение размеров изделий при кристаллизации не превышает 1-2%.