Исследование промышленного робота

В последующие десятилетия тонкие пленки использовались только для чисто физических исследований.В результате исследования выяснилось.В) несбалансированный магнетрон (Тип 2) .Выпускная квалификационная работа содержит 39 рисунков, 6 таблиц, 27 источников, 1 приложение, 15л.Измерение толщин пленок.Измерение скорости напыления.Вычисление коэффициента эрозии поверхности мишени.При увеличении плотности мощности доминирует испарительная компонента.Наблюдается увеличение скорости роста тонких пленок с увеличением плотности мощности.Увеличивается коэффициент эрозии поверхности мишени на 2 порядка за счет испарительной компоненты.