Исследование производительности работы магнетронной распылительной системы с жидкометаллической мишенью

Магнетронная распылительная система (МРС) является одной из разновидностей схем диодного распыления.Принцип действия магнетронной распылительной системы показан на рисунке 3.Такие условия обеспечиваются в несбалансированных магнетронных распылительных системах.Магнетрон с жидкометаллической мишенью (жидкофазный.Основными элементами устройства являются катод-мишень, анод и магнитная система.Магнитная система; 2 - тигель; 3 - подложка; 4 - анод; 5-мишень (А1) ; 6 - экран.Катод-мишень; 2 - магнитная система; 3 - источник питания; 4 - анод.В) несбалансированный магнетрон (Тип 2) .Выпускная квалификационная работа содержит 39 рисунков, 6 таблиц, 27 источников, 1 приложение, 15л.Вычисление коэффициента эрозии поверхности мишени.