Атомный силовой микроскоп
В атомно-силовой микроскопии для этой цели широко используются оптические методы (рис. 1.4) .На рисунке 1.8 изображена схема атомного силового микроскопа.Атомно-силовая микроскопия в задачах проектирования приборов микро- и наноэлектроники.1 Атомный силовой микроскоп (АСМ).Создание атомного силового микроскопа.Принцип действия атомного силового микроскопа.Рис. 1.6 Упрощенная схема организации обратной связи в атомно силовом микроскопе.Принцип действия атомного силового микроскопа (АСМ).Схема сканирующего атомного силового микроскопа.Преимущества и недостатки атомного силового микроскопа.