Ультрафіолетова нанолітографія

Екстримальна ультрафіолетова нанолітографія.Проблеми і перспективи ультрафіолетової нанолітографії.Електронна променева нанолітографія.1 Механічна нанолітографія.3 Ближньопольва оптична нанолітографія.В першому розділі приведений опис методів нанолітографії.Основним літографічним процесом в сучасній мікроелектроніці є фотолітографія.Таким способом передбачається досягнення розмірів елементів інтегральних схем 30 нанометрів і менше.Рис.1.3 Фотографія атомної камери обскура.Схема апертурного (а) і безапертурного (б) бліжнеполевого скануючого оптичного мікроскопа.