Процессы микро- и нанотехнологии

Гетерогенные процессы многостадийны.Схематически процесс травления показан на рис.Рассмотреть в светлом поле микроскопа шлифованную и полированную пластинки кремния.Осушить пластинки на бумажном фильтре и вновь рассмотреть их под микроскопом.Рассмотреть круглую полированную пластину в светлом и темном полях микроскопа МБИ-6.Подсчитать количество светящихся точек в поле зрения микроскопа.Микроскоп МБИ-6, Микроскоп Метам-Р.Назовите особенности диффузионного и кинетического режимов протекания гетерогенного процесса.Схематически процесс окисления изображен на рис.Кинетика процесса термического окисления.