Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин

Этим объясняются высокие адсорбционные свойства и химическая активность поверхности пластин.Очистка, при которой удаляется приповерхностный слой пластины или подложки, называется травлением.Способы сухой очистки пластин и подложек.Способы сухой очистки пластин и подложек 15.Газы, адсорбированные поверхностью пластин и подложек.На поверхности пластин и подложек одновременно могут присутствовать загрязнения различных видов.Сухая очистка основана на использовании отжига, газового, ионного и плазмохимического травления.Различают химическое и электрохимическое травление полупроводников.Плазмохимическое травление применяют также для локальной обработки поверхностей.Типовые процессы очистки пластин и подложек.